您好,歡迎進(jìn)入湘潭市三星儀器有限公司網(wǎng)站!
一鍵分享網(wǎng)站到:
您現(xiàn)在的位置:首頁 >> 產(chǎn)品中心 >> >> 管式電阻爐 >> CVD化學(xué)氣相沉積裝置

CVD化學(xué)氣相沉積裝置

  • 更新時(shí)間:  2024-04-25
  • 產(chǎn)品型號(hào):  
  • 簡單描述
  • CVD化學(xué)氣相沉積裝置由升華室、反應(yīng)室、氣路系統(tǒng)、和真空系統(tǒng)組成,采用智能化程序控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;內(nèi)置多個(gè)溫區(qū),可以營造不同的溫度梯度。用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
詳細(xì)介紹

    CVD化學(xué)氣相沉積裝置由升華室、反應(yīng)室、氣路系統(tǒng)、和真空系統(tǒng)組成,采用智能化程序控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;內(nèi)置多個(gè)溫區(qū),可以營造不同的溫度梯度。用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。

1、升華室主要包括有不銹鋼容器,不銹鋼高溫閥、壓力表、電熱合金絲發(fā)熱體、質(zhì)子流量計(jì)、熱電偶、溫控裝置和保溫系統(tǒng)。主要用于對(duì)前驅(qū)體的加熱升華和調(diào)控通入反應(yīng)室的氣體流量, 控溫溫度可以在100-700℃之間自由設(shè)定,由K分度號(hào)熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實(shí)現(xiàn)升華室溫度的自動(dòng)程序升降,控溫精度:±1℃,升華室配置數(shù)量為2個(gè)。

2、反應(yīng)室主要包括不銹鋼容器、壓力表、質(zhì)子流量計(jì)、電熱合金絲發(fā)熱體、熱電偶、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)、載物臺(tái)??販販囟瓤梢栽?00-900℃之間自由設(shè)定,由K分度號(hào)熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實(shí)現(xiàn)反應(yīng)室溫度的自動(dòng)程序升降,控溫精度:±1℃,反應(yīng)室配置數(shù)量為1個(gè)。

3、氣路系統(tǒng)采用∮6×1mm,316L材質(zhì)不銹鋼管實(shí)現(xiàn)氣體的運(yùn)輸、氣體流量的精確控制、減壓閥的準(zhǔn)確快速切換以及廢氣的處理。在氣體運(yùn)輸過程中,需要對(duì)管道進(jìn)行加熱保溫處理,防止混合氣體在運(yùn)輸過程中發(fā)生冷凝,加熱系統(tǒng)由K分度號(hào)熱電偶+智能數(shù)顯控溫儀+電熱合金絲發(fā)熱體實(shí)現(xiàn)氣路管道的溫度控制,控溫精度:±1℃。

4、真空系統(tǒng)主要用于控制反應(yīng)室內(nèi)壓強(qiáng),保證化學(xué)氣相沉積反應(yīng)能在預(yù)定的壓強(qiáng)下進(jìn)行實(shí)驗(yàn),真空度:10Pa。

 

CVD化學(xué)氣相沉積

化學(xué)氣相沉積反應(yīng)裝置

CVD管式爐

 

 


留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
    QQ在線客服
  •   在線咨詢
  • 點(diǎn)擊這里給我發(fā)消息
電話
0731-58223395 58223399 13341323987
手機(jī)
13037327145鐘 18975216877周
日韩精品久久无码中文字幕,日文中字乱码一二三区别视频,99精品久久99久久久久,人人爽人人爽人人爽
<蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>